Главная
Наноцентр
Научные исследования
Обучение
Научное оборудование
Библиотека
ЦКП
Контакты
Персоналии
Карта сайта
  
Главная > Научное оборудование > Модуль электронно-ионной спектроскопии на базе платформы Нанофаб 25 > Страницы > default.aspx  

Модуль электронно-ионной спектроскопии на базе платформы Нанофаб 25 НОЦ "Нанотехнологии" МЭИ ( Наноцентр МЭИ ) 

НОЦ "Нанотехнологии" МЭИ > Главная > Научное оборудование > Модуль электронно-ионной спектроскопии на базе платформы Нанофаб 25
 

Модуль электронно-ионной спектроскопии на базе платформы НаноФаб 25

Сверхвысоковакуумный аналитический модуль электронно-ионной спектроскопии (ЭИС) на базе платформы НаноФаб 25 предназначен для проведения комплексного анализа поверхностных слоев твердого тела. В аналитическом модуле могут исследоваться образцы с размерами до 10×10×8 мм в условиях сверхвысокого вакуума (2×10-8Па).
Аналитический модуль ЭИС позволяет реализовать следующие методики анализа поверхности твердого тела:
· Электронная Оже-спектроскопия (ЭОС) – Auger electron spectroscopy ( AES);
· Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС) – X-ray photoelectron spectroscopy (XPS);
· Ультрафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия (УФЭС) – Ultraviolet photoelectron spectroscopy ( UPS);
· Спектроскопия рассеяния медленных ионов (СРМИ) – Ion scattering spectroscopy (ISS);
· Другие перспективные, развивающиеся методы анализа, основанные на электронной спектроскопии: Electron energy loss spectroscopy ( EELS), Elastic peak electron spectroscopy ( EPES), Reflection electron energy loss spectroscopy ( REELS).
Реализуемые методы анализа на аналитическом модуле основаны на расшифровке энергетических спектров электронов или ионов. Регистрация энергетических спектров осуществляется с помощью электростатического энергоанализатора с фокусирующей линзой SPECS PHOIBOS 225 HV. Энергоанализатор позволяет регистрировать электроны, энергия которых не превышает 15 кэВ, с энергетическим разрешением 1 мэВ (UPS), 7 мэВ (XPS), 15 мэВ (EELS).
В модуль ЭИС установлены следующие источники: две электронные пушки The Kimball Physics EMG-4212, позволяющие получить пучок электронов с энергией до 30 кэВ; рентгеновский источник SPECS X-ray Source XR 50 со спаренным анодом Al/Mg (1486,6 эВ/1253,6 эВ); ультрафиолетовый источник SPECS Ultraviolet Source UVS 10/35, позволяющий получить He I (21,22 эВ) и He II (40,82 эВ); ионный источник SPECS Ion Source IQE 12/38, работающий на Ar высокой чистоты марки 5.5, который может быть использован для ионной чистки, послойного анализа и СРМИ; электронный прожектор SPECS Flood Gun FG 15/40, позволяющий проводить нейтрализацию зарядки диэлектрических образцов. Конструкция держателя образцов в аналитическом комплексе позволяет проводить нагрев образца до температуры 1000 К и охлаждение до температуры жидкого азота.
Сверхвысоковакуумный аналитический модуль позволяет следующие исследования поверхности:
• элементный анализ поверхности (AES, XPS), глубина анализа 2-5 нм;
• послойный элементный анализ (AES, XPS с ионным распылением);
• высокоточный послойный анализ с нанометровым разрешением: EELS на глубину до 1 мкм и EPES на глубину до 20 нм;
• определение энергии связи электронов (UPS, XPS), возможно выполнением с угловым разрешением ±15º (UPS) и ±7º (XPS);
• определение сечений неупругого рассеяния электрон (REELS).
Исследование образцов проводиться после очистки в ультразвуковой ванне и в аналитической камере модуля ионным пучком.


Производитель: Компания НТ-МДТ