Главная
Наноцентр
Научные исследования
Обучение
Научное оборудование
Библиотека
ЦКП
Контакты
Персоналии
Карта сайта
  
Главная > Научное оборудование > Сканирующий нанотвердомер НаноCкан-3D > Страницы > default.aspx  

Сканирующий нанотвердомер НаноСкан-3D НОЦ "Нанотехнологии" МЭИ ( Наноцентр МЭИ ) 

НОЦ "Нанотехнологии" МЭИ > Главная > Научное оборудование > Сканирующий нанотвердомер НаноCкан-3D
 

Сканирующий нанотвердомер НаноCкан-3D

Сканирующий нанотвердомер НаноСкан-3D редназначены для исследования рельефа и структуры поверхностей и измерения механических свойств (в том числе твердости и модуля упругости) объемных материалов и тонких пленок на субмикронном и нанометровом масштабе.
Прибор НаноСкан-3D основаны на принципах сканирующей силовой микроскопии. Главным отличием НаноСкан-3D является применение пьезорезонансного кантилевера камертонной конструкции с высокой изгибной жесткостью консоли (~2 Х 104 Н/м).
Уникальные возможности НаноСкан-3D позволяют применять прибор как в приложениях, в которых исследования можно проводить с помощью нанотвердомеров и СЗМ, так и в областях, недоступных для таких приборов. Сканирующие нанотвердомеры семейства НаноСкан-3D применяются для исследований механических свойств и контроля качества поверхностей по следующим направлениям:
  • Нанофазные и композитные материалы;
  • Ультрадисперсные твердые сплавы;
  • Новые сверхтвердые материалы;
  • Наноконструкционные материалы;
  • Полупроводниковые технологии;
  • Автомобильная промышленность;
  • Инженерные приложения;
  • Медицинские приложения;
  • Алмазы и алмазные порошки;
  • Устройства хранения информации;
  • Оптические компоненты;
  • Микро- и наноэлектромеханические системы (МЭМС и НЭМС);
  • Тонкие пленки;
  • Покрытия для снижения износа.
НаноСкан-3D работает в контактном динамическом режиме сканирования (рельеф поверхности / карта распределения модуля упругости), с шагом по XY 1,5 нм и с шагом по оси Z 0,15 нм.
Возможно реализовать следующие методики:
  • индентирование,
  • склерометрия,
  • силовая спектроскопия,
  • динамическое наноиндентирование.
Диапазоны измеряемых значений: твердость до 80 ГПа и модуль упругости: до 1000 ГПа. Поле сканирования: по осям XY – до 100 мкм и по оси Z – до 10 мкм. Пьезо-кантилевер с индентором, алмазной пирамидой типа Берковича.
Оптическая система НаноСкан-3D обладает высоким разрешением: видеомикроскоп с регулировкой увеличения 260х-1800х. Размер образцов: по длине и ширине до 100х100 мм, по высоте до 80 мм и по весу до 5 кг. Система позиционирования образцов позволяет перемещать образец в плоскости XY до 100 мм с шагом 1 мкм и по оси Z до 80 мм с шагом 40 нм.